配件

流量计

工艺应用:可用于搭建CVD系统,也可为样品退火提供所需的气氛环境。

最高温度:

工作温度:

真空度:

温控精度:

可通气氛:

可编程段:

可选型号:浮子流量计,质子流量计

材质:

气路通道:1/2/3/4/5/6路

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产品简介

浮子流量计:又称转子流量计,是变面积式流量计的一种。结构相对简单,主要由锥管和浮子两部分组成,有些还配备了刻度显示装置和调节阀门等。玻璃锥管浮子流量计直观可视,但耐压力低,有玻璃管易碎风险;金属管浮子流量计则可承受较高压力

质子流量计:基于质子在磁场中的运动特性来测量流量。当气体分子通过磁场时,质子会受到磁场力的作用发生偏转,通过检测质子的偏转角度和数量等参数,进而计算出气体的流量。内部结构较为复杂,通常包括产生磁场的装置、质子检测传感器、信号处理电路以及显示和控制单元等。


应用领域

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