1200℃立式流化床-用于氧化铝粉末CVD实验

2025/01/14

案例简介

单位名称：郑州某研究所

设备名称：三温区立式流化床

工作温度：≤1200℃

设备用途：用于氧化铝粉末表面沉积的CVD实验。

设备介绍

这款流化床立式管式炉，是专门针对粉末表面沉积的CVD实验而设计，炉管为高纯石英管，炉管内部带有砂芯版，粉末可放在多孔石英板上，气体可从炉管下端通入，通过多孔石英板使样品颗粒悬浮在加热区域，进行沉积实验。预留有进、出气口，真空泵接口，可搭配真空泵使用。