产品简介

滑道式管式炉是一款管式快速退火炉，炉管采用高纯石英材质，最高温度可达1200°C。 炉子的底部安装有一对滑轨，可使炉子从炉管的一侧滑动到另一侧，以实现快速加热和快速冷却。想实现最快地加热，可将加热炉预热至所需温度，把炉体滑动至样品位置。 想实现最快的冷却，可在样品处加热完成后将炉体滑到另一侧。是低成本快速热处理的理想设备。该RTP快速退火炉可以在真空、大气、空气等不同环境下加热样品。主要应用多种材料的快速退火、硅化、扩散、结晶、致密化等。

应用领域

滑道式管式炉是一种常用的实验型热处理设备，具体应用如下：

快速热处理：应用多种材料的快速退火、硅化、扩散、结晶、致密化等。

气氛烧结及还原：适用于高温气氛烧结、气氛还原等工艺过程，滑轨式管式炉可以预抽真空，通多种气氛，满足不同实验需求。

生长石墨烯：可作为生长石墨烯而研制的石墨烯生长专用炉，适用于要求升降温速度较快的CVD实验。