维度 | 鸿炉优势 |
温控能力 | 实测控温精准度±1 ℃,多温区独立PID,30段可编,升温速率10–15 ℃/min(RTP型可达50 ℃/s) |
温区配置 | 单/三/五温区模块化,恒温区长度可定制,立式结构自带“梯度-等温”一体工艺 |
炉管选材 | 石英/刚玉/耐热钢/高温合金可选,法兰水冷、KF接口、双O-ring密封标配 |
气氛/真空 | 内置截止阀、止回阀,多路MFC(4–6通道)一体集成,H₂尾气自动点火 |
结构与装卸 | 立式+升降机,4-inch晶圆基板5 min完成装料,比传统卧式快40 %;炉管垂直残留物自重滑落,清洁周期×2 |
定制/交期 | 炉管长度Φ40–300 mm、L300–1600 mm任意切,加热套可拆分;非标定制周期通常为30-45天 |
价格区间 | 常压1200 ℃三温区价格适中,比同规格进口低30–40 % |
软件/数据 | 触摸屏+PC远程,USB导出.csv,30段曲线可回读 |
市场口碑 | | 国内高校材料系、锂电企业引用率高,官网放出200+合作单位清单,售后服务网点已覆盖华东/华南/西南 |
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